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測定モード【マイクロスクラッチ試験法】

薄膜の臨界はく離荷重値を求めるため、印加荷重を増加させながら行うJIS R-3255に準拠したマイクロスクラッチ試験法を行う測定モードを紹介いたします。

超薄膜スクラッチ試験機の連続荷重増加型測定モード
(通常スクラッチ測定)

マイクロスクラッチ試験法では、膜へ印加する荷重を増加させながら、膜の破壊(はく離)したときの荷重値(臨界はく離荷重値)を膜強度の指標として求めることとなります。このため、測定に際しては、荷重印加速度を到達加荷重と到達時間を設定することであらかじめ測定条件として入力することとなります。

模式図

印加される荷重に対する破壊を計測することで、破壊荷重(臨界荷重)値で評価を行います。

はく離検出機構

左図では、赤色のグラフが印加した荷重を示しております。測定と共に荷重が増加してゆき、25sec付近でセンサ出力に変化が生じ、印加荷重115mN付近で膜がはく離しており、本測定では臨界はく離荷重値(膜がはく離してしまう荷重値)が115.9mNであったことが結果として得られました。

Nano-Layer Scratch Tester

CSR5000

超薄膜スクラッチ試験機

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