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測定モード【一定荷重測定】

一定荷重でマイクロスクラッチを行うことで、はく離の有無からの単純合否判定や、察傷性観察における観察面積の拡大により容易に観察を行うことが出来る一定荷重測定モードを紹介いたします。

超薄膜スクラッチ試験機の一定荷重マイクロスクラッチ測定モード

PCソフトの測定条件設定画面で、右図の一定またはステップタブを選択すると、設定された荷重値でスクラッチ測定を行うことが可能です。また、この一定荷重で段階的に荷重を増加させての測定が可能です。本機能により設定された基準値でのはく離の有無から単純合否判定を行うことが可能となります。又、察傷性測定においても、観察面を作成することが出来、測定傷の観察が容易に行うことができるようになります。

模式図

設定した荷重でスクラッチ試験を行うことで、設定荷重における破壊の有無でOK/NG判断が可能です。

はく離検出機構

左図では、赤色のグラフが印加した荷重を示しております。印加荷重は10→25→50mNと段階的に増加させております。10及び25mNでは破壊は生じておらず、Y(摩擦力相当)及びZ(表面凹凸)信号に乱れは生じておりませんが、50mN荷重では、両信号共に乱れが生じ、顕微鏡観察の結果からも破壊が確認できます。これにより、25mN判定ラインはクリアするも50mN判定ラインにおいてNG判定と判断するといった工程管理評価を容易に行う事が出来る測定モードとなります。

Nano-Layer Scratch Tester

CSR5000

超薄膜スクラッチ試験機

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