超薄膜スクラッチ試験機の測定例

ハードディスクドライブの磁気ディスク表層には膜厚数ナノメートルの保護膜が形成されており、この薄膜の付着力を超薄膜スクラッチ試験機を用いて測定した試験結果を紹介いたします。

HDD磁気ディスク保護膜(数nm)の密着力測定のスクラッチ試験結果

図

膜厚数nmのHDD保護膜にダイヤモンド触針を接触させ、荷重を増加させながら測定(スクラッチ)した際に、触針に生じる垂直方向(膜表面の凹凸方向)の挙動と印加荷重のグラフを左記に示します。
荷重(赤色グラフ)が一定に増加し、印加荷重が約12.5mNに達した点で触針の垂直方向の振動挙動に変化が生じております。

測定条件

  • スクラッチ速度:10μm/s
  • 励振幅:100μm

臨界はく離荷重値(測定結果)

  • 12.5mN

Nano-Layer Scratch Tester

CSR5000

超薄膜スクラッチ試験機

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