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超薄膜スクラッチ試験機

超薄膜スクラッチ試験機の仕様

荷重検出機構荷重印加範囲1~1500mN
荷重分解能0.3mN
許容過負荷300%FS
水平方向信号出力検出信号速度信号
周波数レンジ20Hz~10kHz
励振周波数45Hz
励振振幅0・5・10・20・40・50・80・100μm
垂直方向信号出力検出信号加速度信号※当社特許技術
周波数レンジ20Hz~10kHz
触針材質と形状ダイヤモンド(R5・10・15・25・50・100μm)
サファイア(R250・500μm)
Z軸駆動機構
荷重印加方向
駆動方式ステッピングモータ駆動
駆動範囲20mm(手動にて+30mmの粗動範囲有)
駆動分解能数0.5μm
駆動速度(測定時)0.1~10μm/s
駆動速度(準備時)1mm/s
X軸駆動機構
スクラッチ方向
駆動方式ステッピングモータ駆動
駆動範囲20mm
駆動分解能数0.5μm
駆動速度(測定時)0~20μm/s
駆動速度(準備時)1mm/s
試料台XY軸駆動機構駆動方式マイクロメータによる手動駆動
駆動範囲±6.5mm
Data出力方式USB
寸法及び重量W540×D520×H630(37kg)※顕微鏡Option含
電源AC100~240V

Nano-Layer Scratch Tester

CSR5000

超薄膜スクラッチ試験機

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