超薄膜スクラッチ試験機の測定例

透明で導電性が有ることから、液晶パネルディスプレイの透明電極膜として使用されていますITO(Indium Tin Oxide)膜を超薄膜スクラッチ試験機を用い付着強度を測定した結果を紹介いたします。

ガラス上に成膜されたITO膜の付着力測定の試験結果

図

ITO膜に対しR10ミクロンのダイヤモンド触針を接触させ、荷重を増加させながら測定(スクラッチ)していきます。
左記の測定では、荷重が124.60mNに達すると出力Dataに顕著な変化点が発生しており、測定傷の顕微鏡観察の結果からもITO膜のはく離が確認できます。

測定条件

  • 触針端形状:R10μm
  • スクラッチ速度:10μm/s

臨界はく離荷重値(測定結果)

  • 124.60mN

Nano-Layer Scratch Tester

CSR5000

超薄膜スクラッチ試験機

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