超薄膜スクラッチ試験機の測定例

レンズ等の曲面に成膜された薄膜のスクラッチ評価が可能な超薄膜スクラッチ試験機を用いた光学レンズの凸面における位置による付着への影響を評価した測定例を紹介いたします.

曲面レンズ上の光学薄膜の密着力への影響を測定した試験結果

薄膜スクラッチ試験機に曲面レンズを設置し測定を行っている様子

左写真は、超薄膜スクラッチ試験機に曲面レンズを設置し測定を行っている様子を示しております。写真内で示した曲面レンズの凸面におけるレンズ周辺部と中央部の密着評価を行った結果を下記に示します。
表面状態を示す摩擦力相当信号に約8mN付近から。周辺部と中央部に差が生じていることが分かります。表面を触針が滑走している状態に対し、破壊(はく離や傷つき等)発生により触針に生じる摩擦力は増加することから、周辺部は中央部と比較して低荷重領域で破壊が発生し始めているといえます。また、周辺部及び中央部ともに出力信号に変曲点が存在し、測定傷の顕微鏡観察結果からも膜のはく離(界面露出)が確認できます。尚、膜のはく離にいたる荷重(臨界はく離荷重値)は、周辺部と比較し中央部の方が約12%高い結果が得られました。

図

Nano-Layer Scratch Tester

CSR5000

超薄膜スクラッチ試験機

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