超薄膜スクラッチ試験機の測定例

膜の密着強度への環境温度の影響を調査すべく、酸化膜に対して加温環境下でマイクロスクラッチ試験を実施した結果を紹介いたします。

SiO2膜を加温環境下でスクラッチ試験した測定結果

図

ガラス基材上のSiO2薄膜に対し、常温及び加熱環境下でマイクロスクラッチ試験を実施した結果を左記に示します。常温では約190mN程ではく離が発生し出力信号にも急激な変化点が発生いたしましたが、加熱環境下では同じSiO2薄膜が約150mN程ではく離が発生いたしました。

※27℃測定傷においては、膜のはく離(40sec付近)後に傷が拡大し30sec付近まで傷が伸びた後の写真となります

Nano-Layer Scratch Tester

CSR5000

超薄膜スクラッチ試験機

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