耐摩耗性に優れ切削工具のコーティングとして多く使用されていますTiN(窒化チタン)膜も、切削屑等によるピンポイントへの圧力集中等により、膜自体が剥がれてしまうといった現象も存在いたします。超薄膜スクラッチ試験機を用いTiN膜がはく離してしまう臨界荷重を求め、膜の密着強度を評価いたしました。

TiN膜に対しR15ミクロンのダイヤモンド圧子を接触させ、荷重を増加させながら測定(スクラッチ)してゆきます。
左記の測定では、荷重が150.8mNに達すると出力Dataに顕著な変化点が発生し、これによりTiN膜の破壊を検出いたします。
尚、左の写真はその時の測定傷の顕微鏡写真で、膜の破壊が確認出来ます。(測定Dataと顕微鏡観察の相関は距離で行います)