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超薄膜スクラッチ試験機の測定例
高硬度・低摩擦・耐摩耗性に優れ金型の表面皮膜やペットボトルの内面等多くの用途に使用されていますDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜を超薄膜スクラッチ試験機を用い密着強度を測定した結果を紹介いたします。
※CSR02型による測定Dataです。
Si上に成膜されたDLC膜の密着強度測定の試験結果と測定傷の顕微鏡写真
DLC膜に対しR5ミクロンのダイヤモンド圧子を接触させ、荷重を増加させながら測定(スクラッチ)してゆきます。
左記の測定では、荷重が109.7mNに達すると出力Dataに顕著な変化点が発生し、これによりDLC膜の破壊を検出いたします。
尚、左の写真はその時の測定傷の顕微鏡写真で、膜の破壊が確認出来ます。(測定Dataと顕微鏡観察の相関は距離で行います)
測定条件
- 触針端形状：R5μm
- スクラッチ速度：10μm/s
臨界はく離荷重値(測定結果)
- 109.7mN
関連試験機
- 動摩擦係数の変化から表面破壊を感知し耐摩耗性評価を行う摩擦摩耗試験機
