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超薄膜スクラッチ試験機
薄膜の密着強度を評価する超薄膜スクラッチ試験機の原理と概要を解説した技術資料から、はく離を検出する新たなセンシング手法の解説や薄膜の密着及び耐摩耗性を評価する各種試験方法との関係性の解説等を紹介いたします。
超薄膜スクラッチ試験機に関連する技術情報
薄膜の物理強度評価方法に関し膜の密着を評価するクロスカット試験や引っ張り試験法からスクラッチ試験法及びマイクロスクラッチ試験法まで解説いたします。又、臨界荷重を求めるスクラッチ試験法に対する一定荷重で摩擦回数による膜の破壊を評価する摩擦摩耗試験法も合わせて解説しております。 |
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フーリエ変換を応用した超薄膜接着強度測定法の精度に関する検討
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マイクロスクラッチ試験機を用いた薄膜密着性の評価方法マイクロスクラッチ試験法を採用した超薄膜スクラッチ試験機による薄膜の密着性評価方法と本試験機の概要及び測定事例に関し報告しております。 表面技術Vol58(2007)No5 p295 |
