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超薄膜スクラッチ試験機
ネット上に公開されております、薄膜の密着強度を評価するレスカ製超薄膜スクラッチ試験機を使用した論文や学術報告及び設備紹介に関するLink情報を紹介いたします。
超薄膜スクラッチ試験機に関するLink
| 大学 |
金沢工業大学 組成傾斜構造をもつZrN/Zr/ZrO2とTiN/Ti/TiO2膜の付着力と硬さの評価 [真空]Vol41(1998)No3 P111-114
組成傾斜構造とAr圧がZrN/Zr/ZrO2とZrN/ZrO2膜の硬さ及び付着力に与える影響 [真空]Vol42(1999)No3 P167-170
固体炭素源を用いた2元交互スパッタリングによるTiC薄膜の作製 [真空]Vol42(1999)No3 P384-387 |
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中部大学・京都大学 [Journal of the Ceramic Society of Japan]Vol117(2009)No1370 P1126-1130 |
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東京工芸大学 [表面技術]Vol48(1997)No7 P678-681 |
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東京工芸大学・早稲田大学 スパッタ法による超高硬度ダイヤモンドライクカーボン保護膜の作製 [日本応用磁気学会誌]Vol19(1995)NoS_2_PMRS_95 PS2_104-107 |
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東京理科大学 ゾル・ゲル法から作製したSiO2系薄膜の膜・基板界面付近におけるイオンの分布及び化学的状態 [日本セラミックス協会学術論文誌]Vol100(1992)No1166 P1245-1250 |
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名古屋大学 Strength at the Interface of CNT Films Made by Surface Decomposition of SiC [Tribology Online]Vol3(2008)No7 P352-355 |
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山形大学・中部大学・京都大学 Apatite formation on surface titanate layer with different Na content on Ti metal [Journal of the Ceramic Society of Japan]Vol118(2010)No1373 P19-24 |
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| 公的機関 |
産業技術総合研究所・東京都立科学技術大学 [表面科学]Vol25(2004)No4 P232-237 |
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千葉県機械金属試験場・千葉大学 アークイオンプレーティング法により作製した窒化ケイ素薄膜の特性 [表面技術]Vol51(2000)No7 P740-744 |
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| 企業 |
株式会社日立製作所 Application of Molecular-Dynamics Simulation to Interface Stabilization in Thin-Film Devices [JSME International Journal Series B]Vol47(2004)No3 P470-476
[真空]Vol50(2007)No2 P82-88 |
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株式会社日立製作所・日立電線株式会社 [精密工学会誌]Vol66(2000)No7 P1076-1080 |
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| その他 |
株式会社加工技術研究会発行『ハード技術の過去・現在から未来を学ぶ』 |
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社団法人首都圏産業活性化協会『製品・技術PRレポート』 |
