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超薄膜スクラッチ試験機
成膜条件や表面エネルギに影響を受ける、ナノレベルの薄膜の剥がれ性(密着力)や傷つき具合を評価する超薄膜スクラッチ試験機の測定原理や測定結果からの考察方法を紹介いたします。
超薄膜スクラッチ試験機の測定原理一覧
マイクロスクラッチ試験法の原理の項
従来のスクラッチ法では困難とされたミクロン以下の薄膜の密着強度を測定する為に開発されたマイクロスクラッチ試験法の測定原理を紹介いたします。
測定結果解説の項
超薄膜スクラッチ試験機を用いた測定により得られる測定結果の見方や得られた試験Dataから密着力の指標となる臨界はく離荷重値の求め方を紹介いたします。