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超薄膜スクラッチ試験機
膜厚がミクロン以下の薄膜の付着力測定が可能な超薄膜スクラッチ試験機の主な仕様を紹介いたします。尚、仕様だけで測定の可否を判断することは難しく、実際に測定を行ってお役に立てるものであるかをご確認下さい。
超薄膜スクラッチ試験機の仕様
| 荷重検出機構 | 荷重印加範囲 | 1〜1500mN |
|---|---|---|
| 荷重分解能 | 0.3mN | |
| 許容過負荷 | 300%FS | |
| 水平方向信号出力 | 検出信号 | 速度信号 |
| 周波数レンジ | 20Hz〜10kHz | |
| 励振周波数 | 45Hz | |
| 励振振幅 | 0・5・10・20・40・50・80・100μm | |
垂直方向信号出力 |
検出信号 | 加速度信号※当社特許技術 |
| 周波数レンジ | 20Hz〜10kHz | |
| 触針 | 触針材質と形状 | ダイヤモンド(R5・10・15・25・50・100μm) |
| 触針材質と形状 | サファイア(R250・500μm) | |
|
Z軸駆動機構 ※荷重印加方向 |
駆動方式 | ステッピングモータ駆動 |
| 駆動範囲 | 20mm(手動にて＋30mmの粗動範囲有) | |
| 駆動分解能 | 0.5μm | |
| 駆動速度(測定時) | 0.1〜10μm/s | |
| 駆動速度(準備時) | 1mm/s | |
|
X軸駆動機構 ※スクラッチ方向 |
駆動方式 | ステッピングモータ駆動 |
| 駆動範囲 | 20mm | |
| 駆動分解能 | 0.5μm | |
| 駆動速度(測定時) | 0〜20μm/s | |
| 駆動速度(準備時) | 1mm/s | |
| 試料台XY軸駆動機構 | 駆動方式 | マイクロメータによる手動駆動 |
| 駆動範囲 | ±6.5mm | |
| Data出力方式 | USB | |
| 寸法及び重量 | W540×D520×H630(37kg)※顕微鏡含む | |
| 電源 | AC100〜240V | |
