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圧下変位測定装置の仕様
| 圧下駆動軸 | 駆動範囲 | 150mm(実際の駆動範囲は70mm) |
|---|---|---|
| 駆動分解能 | 0.02um／step | |
| 駆動速度 | 測定時 0.1～1000um／sec | |
| サンプル(試験片) 位置調整 |
調整範囲(X軸) | ±5mm |
| 調整範囲(Y軸) | ±5mm | |
| 調整分解能 | 10um | |
| 水平調整機構 | ±3° | |
| サンプル(試験片) 調整用実体顕微鏡 |
総合倍率 | 10～40倍 |
| 荷重検出 | 応力測定範囲 | 5000gf |
| 測定精度 | 1gf毎 | |
| 非直線性 | 0.02%フルスケール | |
| 繰り返し性 | 0.015%フルスケール | |
| 変位検出 | 変位測定範囲 | 0.1～150um |
| 圧子(プローブ)加熱制御 | 設定可能範囲 | R.T～350℃(1℃毎) |
| 温度制御精度 | ±2℃ | |
| 温度安定時間 | 10～20min(200℃設定時) | |
| ステージ加熱制御 | 設定可能範囲 | R.T～350℃(1℃毎) |
| 不活性ガス 雰囲気チャンバ |
残留酸素濃度 | 500ppm以下 |
| 圧子(プローブ) | 任意 | |
| サンプル張りステージ | 任意 | |
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後日、営業担当もしくはカスタマーサービス担当よりご連絡させていただきます。
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