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超薄膜スクラッチ試験機の測定例
セラミックス(アルミナ)薄膜の付着強度を引っ掻き試験とも呼ばれるスクラッチ法を用いた、超薄膜スクラッチ試験機を用いて測定した結果を紹介いたします。
※CSR02型による測定Dataです。
アルミナ膜(1000nm)の付着力試験の評価結果
アルミナ膜に対しR5ミクロンのダイヤモンド圧子を接触させ、荷重を増加させながら測定(スクラッチ)してゆきます。
左記の測定では、荷重が38.0mNに達すると出力Dataに顕著な変化点が発生し、これにより膜の破壊を検出いたします。
測定条件
- 触針端形状：R5μm
- スクラッチ速度：10μm/sec
臨界剥離荷重値(測定結果)
- 38.0mN
