Home>製品紹介>スクラッチ試験
スクラッチ試験
PVD・CVDやメッキ等により成膜された膜の密着強度を測定し、成膜条件や膜剥がれの不良解析にご利用いただけます、2種類のスクラッチ試験装置を紹介いたします。
スクラッチ試験を行う試験機
スクラッチ試験機
最大垂直荷重30kgまで印加できる高荷重型のスクラッチ試験機
本試験機は、超硬合金などの金属面にPVD、CVDによって形成された硬質皮膜(Ti・TiN・SiC・DLC等)の密着強度(付着強度)の検査に優れた効果を発揮します。簡単な操作で定量的に測定を行えるスクラッチ試験法を採用しています。試料表面を荷重を増加させながら膜面を引っ掻き、剥離荷重を高感度に測定します。機械部品、装飾品などや、耐久性の要求される切削工具や金型工具などのコーティング膜の検査に最適な試験機です。
超薄膜スクラッチ試験機
ナノレベルの薄膜を測定するため開発された超高感度型のスクラッチ試験機
原子(分子)化された膜材料が基材表面に到達し膜として成型される際に、基材表面の原子との結合数は膜の密着強度に影響を及ぼします。この結合数は、分子のエネルギー状態や基板の洗浄状態等の影響も想定され、本機を用いた密着強度評価は、成膜における研究開発及び工程管理にご利用いただけます。従来のスクラッチ試験機では、膜表面を引っかいた時の破壊点を摩擦力の変化や音響信号で検出したが、膜厚がミクロン以下の薄膜になると破壊の検出が困難になります。この問題を解消するために、東京大学で考案されたマイクロスクラッチ法と呼ばれる高感度な検出手法を採用したのが本評価機です。液晶ディスプレイの透明電極膜や光学薄膜・DLC・磁気ディスクの保護薄膜等の付着評価に最適な試験機です。
関連機種
- 膜の摩擦係数や耐摩耗性評価を行う摩擦摩耗試験機
- 試験Top
- 歴史館
