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3軸駆動型荷重変位評価試験機
3軸(X･Y･Z)駆動における対象物の変位と荷重を提供する、3軸駆動型万能試験機を紹介いたします。
3軸駆動型荷重変位評価試験機の概要と特徴
3軸駆動型荷重変位評価試験機の概要
通常の万能試験機が上下方向に引張った時の荷重と変位を計測するのに対し、本機は3軸駆動における変位と荷重を計測いたします。
半導体アッセンブリ工程におけるφ10μmの金線を対象とした荷重計測試験機としての実績から、微小対象物も実体顕微鏡による観察とジョイスティック操作による0.1μmピッチの位置合わせにより可能です。
短繊維を上下方向に引張ってのヤング率や破断強度測定から、シート状から斜めに引きはがす際の変位と荷重計測まで可能です。
面内に存在する突起物のせん断強度(突起部を面と平行に押した時の破断強度)評価に優れており、突起物を押す高さ設定が、0.1μm単位で設定が可能です。
3軸駆動型荷重変位評価試験機の特徴
- 顕微鏡を覗いたまま位置合わせ→測定→Data転送が一連で行う事が可能です
- 顕微鏡を回すことで、測定部位を±45度方向から観察することが可能です
- X・Y・Z・θの4軸を手元のジョイスティックで操作可能です
- PCを接続せずにプリンタ(Option)のみで測定を行う事が可能です(起動時間約3秒)
- 各種ワーク形状に合わせたホルダをお客様のご要求に合わせて設計いたします
