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スクラッチ試験機
PVDやCVDにより成膜された硬質皮膜の付着力を評価し、品質管理や不良解析にご利用いただいております、スクラッチ試験機の主な仕様を紹介いたします。
スクラッチ試験機の仕様
| 荷重検出機構 | 荷重印加範囲 | 30kgMax |
|---|---|---|
| 荷重分解能 |
0.1%FS ※30g(30kgFSセンサ使用時) ※1g(1kgFSセンサ使用時) |
|
|
Z軸駆動機構 ※荷重印加方向 |
荷重印加速度 | 30kg/min |
| 駆動分解能 | 0.036度/ステップ | |
| 送りネジリード | 1mm/回転 | |
| 駆動精度 | 0.1μm | |
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Y軸駆動機構 ※スクラッチ方向 |
スクラッチ速度 | 0.01〜2mm/sec(0.01mm/secステップで設定可能) |
| 駆動分解能 | 0.036度/ステップ | |
| 送りネジリード | 2mm/回転 | |
| 駆動精度 | 0.2μm | |
| 駆動範囲 | X軸 | ±50mm |
| Y軸 | ±50mm | |
| Z軸 | Max70mm | |
| Data出力方式 | USB | |
| 電源 | AC100V | |
